Typ mikroskopu Optyczny Elektronowy skaningowy Elektronowy transmisyjny Emisja światło wiązka elektronowa wiązka elektronowa Ośrodek atmosferta próżnia próżnia Rozdzielczość 1µm ~4µm ~0,2µm Kontrast pochłanianie/odbicie efekt elektronów wtórnych rozpraszanie dyfrakcyjne Obiektyw obiektyw optyczny szklany obiektyw elektromagnetyczny obiektyw elektromagnetyczny Głębia ostrości płytka bardzo głęboka głęboka Metoda zmiany powiększenia wymiana obiektywu szerokość skanowania wzbudzenie powiększenia układu obiektywu Grubość próbki […]